光路的檢修與維護(hù)

　　光路調(diào)整的先決條件是：確保直流穩(wěn)定電源、調(diào)制光源頭、光纖、光柵單色儀、光電轉(zhuǎn)換放大器、光學(xué)膜厚儀及各專用電纜的完好和正確接入。特別是光電轉(zhuǎn)換放大器、光學(xué)膜厚測(cè)量?jī)x的接地點(diǎn)，必須單獨(dú)歸至主機(jī)接點(diǎn)牢固接地。

　　光學(xué)鍍膜設(shè)備的清洗

　　設(shè)備使用一個(gè)星期后(三班)，因鍍料除鍍?cè)诠ぜ�表�?外，亦因無(wú)定向性而工作室 內(nèi)的襯板上鍍料，并越鍍?cè)胶�，該層膜厚因組織、繞疏松，吸收大量氣體而造成真空鍍膜設(shè)備抽氣越來(lái)越慢。此時(shí)，應(yīng)對(duì)工作室及襯板進(jìn)行清洗，如不必要拆落來(lái)的部件，可用砂紙打磨干凈，襯板可浸泡在氫氟酸水溶液里，氫氟酸和水的比例看需要浸泡時(shí)間長(zhǎng)短以及不傷襯板為原則。

　　注：襯板必須烘干水份才能安裝，烘干前，襯板的水分盡量抹干，工作架等部件用砂紙清潔后，需要把真空室的所有灰塵清理干凈，此可用吸塵器吸干凈灰塵。最后安裝襯板時(shí)，真空室及襯板都需要用酒精控拭干凈。

　　因使用電子槍及離子源輔助鍍膜，可能會(huì)造成清潔困難，可使用噴沙等方法來(lái)清潔。