無塵車間也叫潔凈廠房、潔凈室(Clean Room)、無塵車間,是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
(1)三個月擦一次架空地板底下的柱子和支撐柱;
(2)用90%去離子水和10%的異丙醇配置清潔劑;
(3)吸完地以后再擦地。一周擦一次墻面;
(4)每天都要檢查車間和整備間的垃圾箱,并及時清走;
(5)在潔凈室里吸塵應使用帶有高效過濾器的專用真空吸塵器;
(6)每塊地板都要吸塵。每次交接班時,都應在地圖上標明工作完成情況,例如在哪結束從哪開始;
(7)架空地板下也要吸塵及擦拭;
(8)使用已獲批準的潔凈室專用去污劑;
(9)工作時一定要記住,永遠是由上往下擦,從離門最遠的地方向門的方向擦;
(10)清潔潔凈室的地面應使用專用拖把;
(11)所有的門都需要檢查并擦干;
(12)清潔潔凈室內(nèi)的墻時應使用潔凈室無塵布。
無塵車間潔凈度之維持和控制,除了硬設備之配合投資外,也需要良好的軟件——管理制度來搭配,方能維持良好的潔凈度。
無塵車間內(nèi)之污染來源,經(jīng)測試分析結果,作業(yè)人員占約 80%,作業(yè)人員進出無塵車間時無塵車間的污染源可分為外污染及內(nèi)污染源。
外污染源主要包括空調送風、間隙滲入、建筑物、工作服、以及一般性氣體如 N2、O2、Air、給水、溶劑等;而內(nèi)污染源則包括生產(chǎn)設備、工作人員、工具、加工制造、隔間材料、工作臺、 包裝材料等。所無塵布廠家以無塵車間工作不但要使用無塵材料,如無塵布,無塵服等,還要加強對進出人員的管理,方能發(fā)揮無塵車間應有的作用。
1.無塵車間適當之正壓保持(>0.5mmAq),做好施工工程之不漏氣,人員設備、原材料搬入無塵車間前先做好清潔擦拭等防塵動作,空氣過濾器適當?shù)墓芾砗驮O置。
2. 室內(nèi)發(fā)塵之防止:隔墻板、地板等無塵車間材料的適當選用、制造設備的發(fā)塵抑制、生產(chǎn) 自動化及人員不聚集、動作放松、潔凈衣的管理、使用無塵車間專用器等。
3. 室內(nèi)發(fā)塵之不積留:墻壁體應光滑無死角、無塵車間需定期保養(yǎng)和清掃、制程設備四周應留有空間。
4.發(fā)生塵埃立即排除。
因此對于作業(yè)人員之數(shù)目、 行動狀態(tài)、進出規(guī)則之制定與執(zhí)行,提高無塵車間內(nèi)作業(yè)人之潔凈度意識、反復教育。
1.進入無塵車間之人員,必須要具備有達成高潔凈度標準,并要維持最好狀態(tài)。
2.作業(yè)人員進入無塵車間數(shù)目以維持最小限度原則(愈少愈好),并須依無塵車間進出標準流程進出無塵車間。
1.物料及設備之進出也必須經(jīng)過潔凈程序,方不至于影響無塵車間之潔凈度。
2.工作人員于其室內(nèi)清潔設備或物料時必須穿著潔凈衣服,所使用之擦拭紙為無塵紙或不會脫落織毛之無塵布,清潔劑除了使用超純水之外,并加入 3~5%濃度的 IPA 或丙酮化學品,以增強去污能力,由于 IPA 及丙酮具揮發(fā)性,故此房間之排氣效果須特別考慮。
3.無塵車間內(nèi)用品除了進出無塵車間用的潔凈衣、鞋、頭罩、帽、手套、口罩外, 尚有如紙張文具、桌子、椅子、芯片盒、搬運車、筆記本、告示板及垃圾箱、 吸塵器等。潔凈衣之材料以洗后或使用其它處理后仍不會發(fā)塵者為基本條件,且其布料為不易燃燒、不起毛,其織法或布料之組織不易通過污染物和不附著污染物 之材質,另外經(jīng)過磨擦不產(chǎn)生靜電或帶電性非常小,洗滌再生容易、不易皺、 著衣感舒適等亦為選用考慮因素。頭罩材質為無塵紙或無紡布制成,帽子材質則與潔凈衣相同,二者在穿戴使用時,除了只露出眼睛和臉表面部分外,其它部分均需包覆,在頭部部分連接上衣處也必須全蓋住,不能留有空隙,頭發(fā)亦不能露出來。無塵車間用鞋要合腳且穿起來舒適為基本條件。
在線粒子監(jiān)測系統(tǒng)整體解決方案,可以實現(xiàn)通過在線塵粒計數(shù)裝置對相關參數(shù)進行連續(xù)的監(jiān)測,實現(xiàn)實時數(shù)據(jù)的采集,預警及報警指示器告知,以此來指導現(xiàn)場或遠程操作人員對于發(fā)生的事件及時采取措施,同時,通過對實時采集數(shù)據(jù)的記錄存儲和回顧審核,用于批生產(chǎn)的放行及廠房設施的回顧。